РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК

УРАЛЬСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ

ИНСТИТУТ ХИМИИ TBEPДОГО ТЕЛА
   
| | | | |
| | | |
 01.07.2005   Карта сайта     Language По-русски По-английски
Новые материалы
Экология
Электротехника и обработка материалов
Медицина
Статистика публикаци


01.07.2005

Letter


Nature 435, 1210-1213 (30 June 2005) | doi: 10.1038/nature03719


Soft X-ray microscopy at a spatial resolution better than 15 nm


Weilun Chao1,2, Bruce D. Harteneck1, J. Alexander Liddle1, Erik H. Anderson1 and David T. Attwood1,2



Analytical tools that have spatial resolution at the nanometre scale are indispensable for the life and physical sciences. It is desirable that these tools also permit elemental and chemical identification on a scale of 10 nm or less, with large penetration depths. A variety of techniques1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 in X-ray imaging are currently being developed that may provide these combined capabilities. Here we report the achievement of sub-15-nm spatial resolution with a soft X-ray microscope—and a clear path to below 10 nm—using an overlay technique for zone plate fabrication. The microscope covers a spectral range from a photon energy of 250 eV (approx5 nm wavelength) to 1.8 keV (approx0.7 nm), so that primary K and L atomic resonances of elements such as C, N, O, Al, Ti, Fe, Co and Ni can be probed. This X-ray microscopy technique is therefore suitable for a wide range of studies: biological imaging in the water window8, 9; studies of wet environmental samples10, 11; studies of magnetic nanostructures with both elemental and spin-orbit sensitivity12, 13, 14; studies that require viewing through thin windows, coatings or substrates (such as buried electronic devices in a silicon chip15); and three-dimensional imaging of cryogenically fixed biological cells9, 16.





  1. Center for X-ray Optics, Lawrence Berkeley National Laboratory, 1 Cyclotron Road, MS 2-400,
  2. Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California, Berkeley, California 94720, USA

Correspondence to: Weilun Chao1,2 Correspondence and requests for materials should be addressed to W.C. (Email: wlchao@lbl.gov).


Received 3 September 2004; Accepted 3 May 2005


Дизайн и программирование N-Studio 
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
  • Chen Wev .  honorary member of ISSC science council

  • Harton Vladislav Vadim  honorary member of ISSC science council

  • Lichtenstain Alexandr Iosif  honorary member of ISSC science council

  • Novikov Dimirtii Leonid  honorary member of ISSC science council

  • Yakushev Mikhail Vasilii  honorary member of ISSC science council

  • © 2004-2019 ИХТТ УрО РАН
    беременность, мода, красота, здоровье, диеты, женский журнал, здоровье детей, здоровье ребенка, красота и здоровье, жизнь и здоровье, секреты красоты, воспитание ребенка рождение ребенка,пол ребенка,воспитание ребенка,ребенок дошкольного возраста, дети дошкольного возраста,грудной ребенок,обучение ребенка,родить ребенка,загадки для детей,здоровье ребенка,зачатие ребенка,второй ребенок,определение пола ребенка,будущий ребенок медицина, клиники и больницы, болезни, врач, лечение, доктор, наркология, спид, вич, алкоголизм православные знакомства, православный сайт творчeства, православные рассказы, плохие мысли, православные психологи рождение ребенка,пол ребенка,воспитание ребенка,ребенок дошкольного возраста, дети дошкольного возраста,грудной ребенок,обучение ребенка,родить ребенка,загадки для детей,здоровье ребенка,зачатие ребенка,второй ребенок,определение пола ребенка,будущий ребенок