РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК

УРАЛЬСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ

ИНСТИТУТ ХИМИИ TBEPДОГО ТЕЛА
   
| | | | |
| | | |
 20.11.2009   Карта сайта     Language По-русски По-английски
Новые материалы
Экология
Электротехника и обработка материалов
Медицина
Статистика публикаци


20.11.2009

The properties of transparent semiconductor Zn1  xTixO thin films prepared by the sol–gel method



Chien-Yie Tsaya, Corresponding Author Contact Information, E-mail The Corresponding Author, Hua-Chi Chengb, Chin-Yi Chena, Kan-Ju Yanga and Chung-Kwei Lina






aDepartment of Materials Science and Engineering, Feng Chia University, Taichung 407, Taiwan, ROC


bDisplay Technology Center, Industrial Technology Research Institute, Hsinchu 310, Taiwan, ROC






Available online 20 September 2009.






Abstract


Transparent semiconductor thin films of Zn1 − xTixO (0 less-than over equal to x less-than over equal to 0.12) were deposited on alkali-free glass substrates by the sol–gel method. The effects of Ti addition on the crystallization, microstructure, optical properties and resistivity of ZnO thin films were investigated. The as-coated films were preheated at 300 °C, and then annealed at 500 °C in air ambiance. X-ray diffraction results showed all polycrystalline Zn1  xTixO thin films with preferred orientation along the (002) plane. Ti incorporated within the ZnO thin films not only decreased surface roughness but also increased optical transmittance and electrical resistivity. In the present study, the Zn0.88Ti0.12O film exhibited the best properties, namely an average transmittance of 91.0% (an increase of ~ 12% over the pure ZnO film) and an RMS roughness value of 1.04 nm.





Keywords: Transparent oxide semiconductors; Zn1  xTixO thin films; Sol–gel method





Article Outline



1. Introduction
2. Experimental
3. Results and discussion
4. Conclusions
Acknowledgements
References


























Corresponding Author Contact InformationCorresponding author. Tel.: +886 4 24517250x5312; fax: +886 4 24510014.










Thin Solid Films
Volume 518, Issue 5, 31 December 2009, Pages 1603-1606
Proceedings of the 36th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films


Дизайн и программирование N-Studio 
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
  • Chen Wev .  honorary member of ISSC science council

  • Harton Vladislav Vadim  honorary member of ISSC science council

  • Lichtenstain Alexandr Iosif  honorary member of ISSC science council

  • Novikov Dimirtii Leonid  honorary member of ISSC science council

  • Yakushev Mikhail Vasilii  honorary member of ISSC science council

  • © 2004-2019 ИХТТ УрО РАН
    беременность, мода, красота, здоровье, диеты, женский журнал, здоровье детей, здоровье ребенка, красота и здоровье, жизнь и здоровье, секреты красоты, воспитание ребенка рождение ребенка,пол ребенка,воспитание ребенка,ребенок дошкольного возраста, дети дошкольного возраста,грудной ребенок,обучение ребенка,родить ребенка,загадки для детей,здоровье ребенка,зачатие ребенка,второй ребенок,определение пола ребенка,будущий ребенок медицина, клиники и больницы, болезни, врач, лечение, доктор, наркология, спид, вич, алкоголизм православные знакомства, православный сайт творчeства, православные рассказы, плохие мысли, православные психологи рождение ребенка,пол ребенка,воспитание ребенка,ребенок дошкольного возраста, дети дошкольного возраста,грудной ребенок,обучение ребенка,родить ребенка,загадки для детей,здоровье ребенка,зачатие ребенка,второй ребенок,определение пола ребенка,будущий ребенок