РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК

УРАЛЬСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ

ИНСТИТУТ ХИМИИ TBEPДОГО ТЕЛА
   
| | | | |
| | | |
 30.04.2010   Карта сайта     Language По-русски По-английски
Новые материалы
Экология
Электротехника и обработка материалов
Медицина
Статистика публикаци


30.04.2010

This review discusses the development of X-ray photoelectron spectroscopy, XPS, used as a characterization
and metrology method for ultra-thin films in the semiconductor wafer processing industry. After
a brief explanation of how the relative roles of XPS and Auger electron spectroscopy, AES, have changed
over the last 15 years or so in the semiconductor industry, we go into some detail as to what is implied by
metrology, as opposed to characterization, for thin films in the industry, and then describe how XPS, and
particularly angle resolved XPS, ARXPS, have been implemented as a metrology “tool” for thickness, chemical
composition, and non-destructive depth profiling, of transistor gate oxide material, a key requirement
in front-end processing. We take a historical approach, dealing first with the early use for SiO2 films on
Si(1 0 0), then moving to silicon oxynitride, SiOxNy in detail, and finally and briefly HfO2-based material,
which is used today in the most advanced devices (32nm node).

 


http://server.ihim.uran.ru/files/info/2010/XPSrew2010.pdf


Дизайн и программирование N-Studio 
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
  • Chen Wev .  honorary member of ISSC science council

  • Harton Vladislav Vadim  honorary member of ISSC science council

  • Lichtenstain Alexandr Iosif  honorary member of ISSC science council

  • Novikov Dimirtii Leonid  honorary member of ISSC science council

  • Yakushev Mikhail Vasilii  honorary member of ISSC science council

  • © 2004-2019 ИХТТ УрО РАН
    беременность, мода, красота, здоровье, диеты, женский журнал, здоровье детей, здоровье ребенка, красота и здоровье, жизнь и здоровье, секреты красоты, воспитание ребенка рождение ребенка,пол ребенка,воспитание ребенка,ребенок дошкольного возраста, дети дошкольного возраста,грудной ребенок,обучение ребенка,родить ребенка,загадки для детей,здоровье ребенка,зачатие ребенка,второй ребенок,определение пола ребенка,будущий ребенок медицина, клиники и больницы, болезни, врач, лечение, доктор, наркология, спид, вич, алкоголизм православные знакомства, православный сайт творчeства, православные рассказы, плохие мысли, православные психологи рождение ребенка,пол ребенка,воспитание ребенка,ребенок дошкольного возраста, дети дошкольного возраста,грудной ребенок,обучение ребенка,родить ребенка,загадки для детей,здоровье ребенка,зачатие ребенка,второй ребенок,определение пола ребенка,будущий ребенок