РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК

УРАЛЬСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ

ИНСТИТУТ ХИМИИ TBEPДОГО ТЕЛА
   
| | | | |
| | | |
 16.07.2010   Карта сайта     Language По-русски По-английски
Новые материалы
Экология
Электротехника и обработка материалов
Медицина
Статистика публикаци


16.07.2010











doi:10.1016/j.mseb.2010.05.027 | How to Cite or Link Using DOI
Copyright © 2010 Elsevier B.V. All rights reserved.
  Permissions & Reprints




Structural, optical and hydrophobic properties of sputter deposited zirconium oxynitride films







Sushant K. Rawala, b, Amit Kumar Chawlab, Vipin Chawlab, R. Jayaganthana, c and Ramesh Chandrab, Corresponding Author Contact Information, E-mail The Corresponding Author






a Centre of Nanotechnology, Indian Institute of Technology Roorkee, Roorkee 247667, India


b Nano Science Laboratory, Institute Instrumentation Centre, Indian Institute of Technology Roorkee, Roorkee 247667, India


c Department of Metallurgical and Materials Engineering, Indian Institute of Technology Roorkee, Roorkee 247667, India





Received 12 February 2010; 


revised 9 May 2010; 


accepted 22 May 2010. 


Available online 4 June 2010.







Abstract


The present work investigates structural, optical and hydrophobic properties of zirconium oxynitride films deposited on glass substrates by reactive RF magnetron sputtering. Influence of the oxygen partial pressure in N2 + Ar and N2 + He mixtures on the formation of zirconium oxyntride films was examined. The structures of the films were analyzed by X-ray diffraction, FE-SEM/EDS, AFM and contact angle measuring system. Structural transformation from Zr2ON2 to well oriented m-ZrO2 is observed as oxygen partial pressure is increased beyond 4.0% when deposited in helium due to penning ionization. The thicknesses of the films were examined by surface profilometer and closely matched with the calculated one from transmission data. The deposited films are hydrophobic and the contact angle decreases with surface roughness. The optical properties of the films were measured by UV–Vis–NIR spectrophotometer and transmittance of not, vert, similar99% in the visible region of the spectrum was achieved. The band gap increases with increase in oxygen partial pressure and is higher in N2 + He mixture than in N2 + Ar mixture.





Дизайн и программирование N-Studio 
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
  • Chen Wev .  honorary member of ISSC science council

  • Harton Vladislav Vadim  honorary member of ISSC science council

  • Lichtenstain Alexandr Iosif  honorary member of ISSC science council

  • Novikov Dimirtii Leonid  honorary member of ISSC science council

  • Yakushev Mikhail Vasilii  honorary member of ISSC science council

  • © 2004-2019 ИХТТ УрО РАН
    беременность, мода, красота, здоровье, диеты, женский журнал, здоровье детей, здоровье ребенка, красота и здоровье, жизнь и здоровье, секреты красоты, воспитание ребенка рождение ребенка,пол ребенка,воспитание ребенка,ребенок дошкольного возраста, дети дошкольного возраста,грудной ребенок,обучение ребенка,родить ребенка,загадки для детей,здоровье ребенка,зачатие ребенка,второй ребенок,определение пола ребенка,будущий ребенок медицина, клиники и больницы, болезни, врач, лечение, доктор, наркология, спид, вич, алкоголизм православные знакомства, православный сайт творчeства, православные рассказы, плохие мысли, православные психологи рождение ребенка,пол ребенка,воспитание ребенка,ребенок дошкольного возраста, дети дошкольного возраста,грудной ребенок,обучение ребенка,родить ребенка,загадки для детей,здоровье ребенка,зачатие ребенка,второй ребенок,определение пола ребенка,будущий ребенок