РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК

УРАЛЬСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ

ИНСТИТУТ ХИМИИ TBEPДОГО ТЕЛА
   
| | | | |
| | | |
 13.06.2006   Карта сайта     Language По-русски По-английски
Новые материалы
Экология
Электротехника и обработка материалов
Медицина
Статистика публикаци


13.06.2006

Наночастицы исправят дефекты электронных чипов


By: Свидиненко Юрий (Svidinenko) 2006.06.12

Наночастицы СеO2 допированные TiO2
Наночастицы СеO2 допированные TiO2

Наночастицы исправят дефекты электронных чипов


Международная команда исследователей открыла простой и эффективный метод синтеза сферических нанокристаллов церия. Как утверждают ученые, с помощью этих наночастиц дефектов на кремниевых «вафлях» станет гораздо меньше. Обычно, при производстве плоских кремниевых вафель их поверхность никогда не бывает идеально ровной. Современная технология получения плоских вафель механо-химической нормализацией поверхности (chemical-mechanical planarization - СМР) обычно не может убрать все дефекты с вафли.

«Сферические кристаллы церия CeO2, допированные титаном, уменьшают дефекты CMP на 80%, что является высоким показателем для современной промышленной микро- и наноэлектроники., - комментирует открытие доктор Вонг из института Джорджии, США. – Однако без помощи коллег из Пекина, Соединенного Королевства и двух частных компаний - Ferro Corporation и Nanocerox мы не смогли бы достигнуть таких результатов».

Внутренняя часть наночастиц СеO2 состоит из одиночного кристалла без его разделения на грани, так как сверху наночастицы покрыты 1-2 нанометровым слоем наночастиц TiO2.




Рис. 1. Наночастицы СеO2 допированные TiO2 – микрофотография и структурная схема


В жидкостной фазе оболочка TiO2 формирует сферу, минимизируя ее поверхностную энергию. Пока технология их производства позволяет обеспечить выход до 300 грамм цериевых наночастиц в час.

Ученые уверены, что наночастицы могут быть адаптированы к другим оксидным системам. Это позволит расширить их применение до таких отраслей, как: нанофотоника, неорганические пигменты, катализаторы и т.д.

"Технология CMP используется для изолирования и соединения друг с другом отдельных транзисторов на вафле, - говорит Вонг. – CMP – метод благодаря своей универсальности стал одним из быстроразвивающихся методов за последнее десятилетие. Около 60% всех чипов изготовлено именно с помощью CMP – технологии. Также предвидится расширение области действия СМР-технологии благодаря введению новых медных соединений между транзисторами в чипе".

Именно сферические наночастицы могут улучшить этот технологический процесс. Поэтому ученые, совместно с заинтересованными в коммерциализации этого изобретения фирмами, пытаются найти более дешевый и быстрый метод производства наночастиц.

Источник:



1. Nanotechweb.org: Spherical nanoparticles put a shine on semiconductor wafers



Дизайн и программирование N-Studio 
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
  • Chen Wev .  honorary member of ISSC science council

  • Harton Vladislav Vadim  honorary member of ISSC science council

  • Lichtenstain Alexandr Iosif  honorary member of ISSC science council

  • Novikov Dimirtii Leonid  honorary member of ISSC science council

  • Yakushev Mikhail Vasilii  honorary member of ISSC science council

  • © 2004-2019 ИХТТ УрО РАН
    беременность, мода, красота, здоровье, диеты, женский журнал, здоровье детей, здоровье ребенка, красота и здоровье, жизнь и здоровье, секреты красоты, воспитание ребенка рождение ребенка,пол ребенка,воспитание ребенка,ребенок дошкольного возраста, дети дошкольного возраста,грудной ребенок,обучение ребенка,родить ребенка,загадки для детей,здоровье ребенка,зачатие ребенка,второй ребенок,определение пола ребенка,будущий ребенок медицина, клиники и больницы, болезни, врач, лечение, доктор, наркология, спид, вич, алкоголизм православные знакомства, православный сайт творчeства, православные рассказы, плохие мысли, православные психологи рождение ребенка,пол ребенка,воспитание ребенка,ребенок дошкольного возраста, дети дошкольного возраста,грудной ребенок,обучение ребенка,родить ребенка,загадки для детей,здоровье ребенка,зачатие ребенка,второй ребенок,определение пола ребенка,будущий ребенок